中国电子行业超纯水标准

    中国电子行业超纯水标准
    指 标 名 称
    一 级 水(EW-1)
    二 级 水(EW-2)
     电阻率MΩ.CM. (25℃)
    18(95‰时间)不低于17
    15(95‰时间)不低于13
      硅   ≤μg/L
    2
    10
     >1μm 微粒数
    0.1
    5
     细菌个数 ≤个/ml
    0.01
    0.1
      铜   ≤μg/L
    0.2
    1
      锌   ≤μg/L
    0.2
    1
      镍   ≤μg/L
    0.1
    1
      钠   ≤μg/L
    0.5
    2
      钾   ≤μg/L
    0.5
    2
      氯   ≤μg/L
    1
    1
     硝酸根  ≤μg/L
    1
    1
     磷酸根  ≤μg/L
    1
    1
     硫酸根  ≤μg/L
    1
    1
     总有机碳 ≤μg/L
    20
    100

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